1、多晶铁氧体生产工艺
这种工艺类似于陶瓷工业中常用的烧结过程,步骤为:经固相反应形成的铁氧体金属氧化物或碳酸盐或其他化合物,在混合均匀之后,经球磨、干燥、压成特定的形状。在大约1000℃的温度下进行预烧后,再一次充分研磨和混合。加入适量的粘合剂,压成所要求的形状或者作为塑性物质挤压成管状、棒状或条状。然后在1200~1400℃温度下烧结,准确的温度取决于所需的铁氧体特性,在最后的烧结过程中,炉膛中的环境条件起有重要的作用。
2、铁氧体化学工艺
这种工艺亦成为湿法工艺,又是也被成为化学共沉淀法。专门用来制备较高性能铁氧体的工艺方法,又可分成中和法和氧化法。其过程是: 先将制备铁氧体时所需的金属元素配制成一定东渡的离子溶液,然后根据配方取适量溶液进行混合,通过中和或氧化等化学反应生成铁氧体粉末,其后工艺过程与前面介绍相同。
3、单晶铁氧体制作工艺
这种工艺与非金属单晶生长大致相同。Mn-Zn和Ni-Zn系铁氧体单晶生长一般都是采用布里兹曼法,即把多晶铁氧体放入铂坩埚里熔融后,在适当的温度梯度电炉中使坩埚下降,从坩埚底部慢慢固话生产单晶。为了使熔融状态下形成的氧分压达到平衡,晶体生长时在炉膛内需要加几个乃至100个MPa的氧分压。
4、铁氧体多晶薄膜的制备
这种工艺如同垂直磁化的钡铁氧体薄膜,采用新型的对向靶溅射装置进行溅射。制备石榴石单晶薄膜,多采用在单晶基板上进行气相或液相外延法,具体工艺过程同半导体单晶薄膜的外延方法极为相近。
5、非晶铁氧体的制备
这种工艺目前是采用超急冷方法和溅射法,所谓超急冷法即把铁氧体原料和适量的类金属元素混合后,在高温熔融状态下,骤然施行大温度梯度的超急冷却的方法。
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